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FIB（Focused Ion Beam，聚焦离子束)是将离子源（如镓）产生的离子束经过离子枪加速，并利用电透镜聚焦成非常小尺寸（纳米级）的显微切割仪器。可以实现微、纳米级尺度的表面形貌加工。通常会配置高分辨的扫描电镜（SEM），用于切割位置的定位及新鲜截面的成像，也就是常说的双束FIB。

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