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Hitachi S—3400N型扫描电子显微镜，采用TMP分子泵真空系统，节省占地面积和电源功耗。主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。

扫描电子显微镜详细信息该设备具有新研制的电子光学系统和自动化功能显示系统有全屏显示，无闪烁，高像素和实时图像显示等优异的性能，它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。

通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性，高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行，这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。

日立扫描电子显微镜S-3400N型的特点

1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。

2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。

3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。

4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品zui高可达80mm。

5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。

6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。

日立扫描电子显微镜S-3400N型的技术指标：

项目	描述
SE分辨率	3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率	4.0nm (30kV)，低真空模式
加速电压	0.3 ~ 30 kV
低真空范围	6 ~ 270 Pa
最大样品尺寸	直径200mm
样品台	I型 II型
X	0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y	0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z	5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R	360o 360o
T	-20o~ +90o -20o ~ +90o
T	-20o~ +90o -20o ~ +90o
最大样品高度	35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驱动类型	手动五轴马达驱动
灯丝	预对中钨灯丝
物镜光栏	可移动式4孔物镜光栏
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏
检测器	二次电子检测器高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置	WD=10mm, TOA=35o
控制	鼠标、键盘，手动旋钮
自动调校	自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度