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Disco DFG8540 表面精磨机 汇集现有研削机的精华 DFG8540/8560是在世界各地拥有大量用户的DFG800系列的升级 换代机种。该机种既具备了与800系列同样的技术指标及性能，又 在设备的重量方面取得了重大改进。 DFG8540的重量比原来减少了 1.2 t（比DFG850降低28 ％），DFG8560的重量比原来减少1.0 t （比DFG860降低20 ％）。 可对100 μm以下的超薄晶圆进行精密研削 改善超薄晶圆研削及搬运系统的功能参数设计，提高了超薄研削 精加工的稳定性。 具有对应超薄研削精加工技术的系统扩张功能 可以与DBG（Dicing Before Grinding＝先分割晶圆，后进行研削） 和乾式抛光机（DFP8140／8160）等组成联机系统。 |
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Disco DFG8540 表面精磨机 |
DFG8540/8560是在世界各地拥有大量用户的DFG800系列的升级 |
该机种既具备了与800系列同样的技术指标及性能 |
DFG8560的重量比原来减少1.0 t （比DFG860降低20 ％） |
可对100 μm以下的超薄晶圆进行精密研削 改善超薄晶圆研削及搬运系统的功能参数设计 |
提高了超薄研削 精加工的稳定性 |
不但提高了第二主轴的研削加工稳定性，而且减小了单片晶圆内的厚度误差和晶 圆之间的厚度误差，还有助于提高超薄研削加工质量的稳定性 |
维持与现有DFG800系列间的相容性及零部件互换性 DFG8540/8560维持与现有机种的互换性 |
设备的机械状态和加 工状况可在控制画面上同步显示 |
操作人员只 要触摸控制画面上的图形化按钮， 就可以简单 地完成操作 |
便携式控制屏 操作画面 操作简便 |
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